کربونیتراسیون گازی
در این فرایند همزمان با نفوذ کربن به سطح، اتم نیتروژن نیز نفوذ می کند، که در مقایسه با کربوراسیون لایه ای با ضخامت کم (0/075 تا 0/75 میلیمتر) و سختی بالاتر (50 تا 60 HRC) به دلیل وجود اتم نیتروژن ایجاد می شود. عمده کاربرد این روش در مورد قطعاتی است که همزمان دقت ابعادی بالا و ضخامت خیلی کمی دارند و نیاز به ایجاد لایه ای نازک با سختی بالا و کمترین میزان اعوجاج را دارند.
فرآیند کربونیتراسیون عمدتاً به دو روش مایع سیانوری با درصد سیانید بالا که آلودگی زیست محیطی زیادی دارد و روش گازی که به کمک گاز هیدروکربن و آمونیاک می باشد انجام می شود. عملیات حرارتی سایا این فرایند را با استفاده از کوره های اتمسفر کنترل شده خود انجام می دهد. که فرآیند کنترل دقیق میزان گاز آمونیاک و هیدروکربن مصرفی امکان ایجاد لایه با سختی و ضخامت قابل کنترل را فراهم کرده است. از جمله قطعاتی که به روش کربونیتراسیون سخت کاری می شوند می توان قطعات خودرویی مانند اجزای صفحه کلاچ، چرخ دنده ها و انواع بست ها را نام برد.